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	Ihre Aktion	Suchen (Schlagwörter GND (Phrase) (XSP)) halbleiterscheibe eingrenzen (Basisklassifikation (XBKL)) 35.18


	1.	Sekundärionen-Massenspektrometrie an Silicium-Waferoberflächen : Auswertung von Spektren und temperaturabhängigen Spektren mit Hilfe der Hauptkomponentenanalyse Egbers, Gitta. - Münster : Schüling, 1998

	2.	Untersuchungen zu Filmbildung und Filmwachstum von Prepolymeren auf anorganischen Substraten Gesang, Thomas. - Als Ms. gedr. - Düsseldorf : VDI-Verl., 1996

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Wort		Typ		Anzahl

35.18		Basisklassifikation (XBKL)		697
halbleiterscheibe		Schlagwörter GND (Phrase) (XSP)		28

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